模具钢经过热处理后硬度偏高的原因有以下几个方面：
1. 相变：模具钢在热处理过程中会发生相变，主要包括奥氏体相变和马氏体相变。奥氏体相变是指钢中的奥氏体晶粒在加热过程中发生晶格结构的变化，从面心立方结构转变为体心立方结构，这种相变会使钢的硬度增加。马氏体相变是指钢中的奥氏体晶粒在冷却过程中发生晶格结构的变化，从体心立方结构转变为马氏体结构，这种相变同样会使钢的硬度增加。
2. 固溶度：模具钢中的合金元素在热处理过程中会发生固溶度的变化。固溶度是指合金元素在钢中的溶解度，当钢经过加热处理后，合金元素会溶解在钢的晶格中，形成固溶体。固溶体的形成会使钢的硬度增加。
3. 细化晶粒：模具钢在热处理过程中，通过控制加热温度和冷却速度，可以使钢中的晶粒细化。细化晶粒可以提高钢的硬度，因为细小的晶粒会增加钢的晶界面积，从而增加钢的强度和硬度。
4. 残余应力：模具钢在热处理过程中，由于加热和冷却的不均匀性，会产生残余应力。残余应力是指在钢材内部存在的一种应力状态，这种应力会使钢的硬度增加。
5. 相变析出：模具钢在热处理过程中，合金元素会发生相变析出现象。相变析出是指合金元素在钢中形成新的相，这种相的形成会使钢的硬度增加。
总之，模具钢经过热处理后硬度偏高的原因主要是由于相变、固溶度、细化晶粒、残余应力和相变析出等因素的综合作用。这些因素使得钢的晶格结构发生变化，合金元素溶解和析出，晶粒细化，从而提高了钢的硬度。